cvd(g)系列真空高温管式炉专门设计用于高温cvd工艺,如zno纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(mlcc)气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温,国产优质硅钼棒加热,优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空,气体采用浮子流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制,设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。
一、 技术指标:
设 备 型 号 nt-cvd(g)-08/50/1
温区高温度 1650℃;(长恒温时间:≥10小时);常用温度:1600℃ (长恒温时间:≥100小时)
加热有效容积 φ72(内经)×500mm;恒温区尺寸:φ72(内经)×250mm
炉管实际尺寸 φ80(外径)×1400mm (国产优质刚玉管)
炉 膛 材 料 氧化铝纤维制品
控制温区点数 1个,1支b分度热电偶
设备温场温差 ±1℃ ,日本岛电进口40段程序控制仪表(1只)
加 热 元 件 优质硅钼棒
大加热功率 12kw
保 温 功 率 5kw
大升温速率 3℃∽10℃/min;
大降温速率 3℃∽7℃/min
温度均匀性 ±3℃(有效范围:φ72×250mm)
气路配件材料 气路配件材料,端头不锈钢发兰密封,
一路气体采用浮子流量计控制,
所有管道和阀门采用不锈钢元件
极 限 真 空 ≤10pa(常温) ,一级机械泵(配电磁阀)。
压升率 ≤5pa/h
1000℃时可抽真空,能通保护
外型参考尺寸 1250(l)×1650(h)×650(w)mm
输入动力电源 单相电源,50hz ,220v±10%;10kw
炉体表面温升 ≤45℃
详细介绍
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